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氦质谱检漏仪

随着科技的迅猛发展，氦质谱检漏仪及其应用技术也在不断发展和究善。同时，当地消防规范建议甚至要求将主要的气体源如气瓶、杜瓦瓶和液体储槽放置在工作区外的指1定区域，然后将气体通过管道系统输送至试验室内。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的氦质谱检漏仪，广泛应用丁航空航天，电力电子，汽车等各个行业，综观1新氦质谱检漏仪的性能特点发现，氦质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等先进方向发展，这些特点很好地满足了当前检漏应用的需求，也极大地1推动了氮质谱检漏技术的不断发展。

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特种气体钢瓶在运输和储存的注意事项

由于特种气体产品的潜在危险性，如氧气遇油脂着火，气瓶倒下使阀门拆断引起飞瓶，惰性气体引起窒息等等。所以在气体使用、搬运及储存中应注意的一些安全事项。

气体钢瓶在运输和装卸过程中应轻装轻卸，严禁抛、滑、滚及剧烈碰撞。              

使用气体前应按要求将合格的减压阀连接到气瓶上，并清洁连接软管。不同气体的气瓶使用时不要使用同一个减压阀。

不应在封闭空间内用惰性气体（如氮气、二氧化碳等）进行实验分析、烧焊、低温冷藏、吹除等等。  

烧焊时，应对气体及电气采取适当的保护措施。不要使用损坏的设备，如软管、电缆及焊枪等。              

特种气体气瓶存放区应比较干燥，并有良好通风，严禁明火和其它热源，严禁曝晒可燃气瓶或氧气瓶附近严禁吸烟，气瓶不应接触到火花、火焰、热气及电路。

在储存、运输及使用杜瓦罐时不能使其卧倒，应永远使杜瓦罐保持直立状态。 

高纯气体的输送管路系统

随着微电子工业的发展，超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大，要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高，对气体中杂质和露1点要求极为严格，需要达到ppb、ppt级，尘埃粒径求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。4、压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置，此净化装置需要并联一路，用单独的阀门隔离，以方便对过滤装置进行维修。